超高純度水用加熱ランプ

300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に15分間だけでも温度が変動すれば、そのロット全体がダメになってしまいます。だからこそ、私たちはリソグラフィーベイ用に超純水を加熱するための特殊なランプを開発したのです。ここでは、温度の均一性や稼働時間が非常に重要であり、それらが製品の歩留まりを決定しま...