金コーティングされた赤外線ランプによるエネルギーの無駄削減 半導体製造工場を運営している方なら、生産速度を落とすことなく「グリーン」な目標を達成しようとする苦労はご存知でしょう。エネルギーの無駄が最も多く発生するのは、加熱や冷却の過程です。そこで役立つのが、金コーティングされた短波長赤外線ランプで...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100の環境を維持しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりやガスの粒子があるだけで、作成中のウェーハ全体が台無しになってしまいます。 最も問題となるのは、加熱素子です。ほとんどの加熱素子はこのような環境には適...

もう、トロリーが温まるのを待つのはやめましょう：赤外線加熱と熱風加熱の違い ディーププロセッシングにおいて、ウェーハを異なる工程間で移動させる際には、熱安定性が最も重要です。しかし、依然として熱風を使ってトロリーを温めている場合、多くの時間を無駄にしている可能性があります。 最近では、多くの工場で...

機械の壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、この問題を知っているでしょう。特定の部品を加熱しようとしても、突然、機械全体が非常に熱くなってしまいます。これは本当にイライラします。 問題は、ほとんどのヒーターがエネルギーを四方八方に放出してしまうことです。つまり、エネ...

ウェハフロア上で、温度コントローラは120.0℃を示している。ウェハはホットプレート上に置かれ、フォトレジストのプロファイルを設定するソフトベイクを待っている。しかし、コントローラの表示はあくまで「約束」にすぎない。ヒーターが実際にウェハ面で供給している温度を測定する熱電対がなければ、その約束は推...