クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100の環境を維持しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりやガスの粒子があるだけで、作成中のウェーハ全体が台無しになってしまいます。
最も問題となるのは、加熱素子です。ほとんどの加熱素子はこのような環境には適していません。熱によって微粒子が放出されたり、加熱素子自体が壊れてしまったりします。そうなると、元々「清潔」だったはずのクリーンルームももはや清潔ではなくなってしまいます。
私たちは、これを防ぐ方法を見つけました。高純度の石英製のIRランプと特殊なテフロン製の配線を組み合わせるのです。シンプルですが、効果的です。
秘密は石英にあります
私たちは通常のガラスを使わず、合成された高純度の石英をランプのケースとして使用しています。なぜかというと、金属イオンが生産エリアに混入するのを防げるからです。また、石英は非常に耐久性が高く、急激な温度変化にも耐えられます。さらに、短波長の赤外線を放出するため、ウェーハに直接熱が当たります。待つ必要もなく、素早く加熱できます。
「目に見えないもの」への対処
次に配線の問題です。多くの人々はPVCやシリコンを使っていますが、これらは熱源の近くでは大変です。溶けてしまったり、揮発性有機化合物を放出したりします。要するに、ポリマーがウェーハに付着してしまうのです。
そのため、私たちはPTFE（テフロン）を使用しています。高温になっても化学的に安定しており、ガスが発生しないので汚染もありません。また、既存のヒーターブロックに簡単に取り替えられるように設計されているので、アップグレードのために全体のレイアウトを変更する必要はありません。
注意すべき点
このIRランプは非常に強力です。即座に熱が発生するのは良いことですが、注意しないと過剰に熱がかかってしまいます。ターゲットまでの距離が数ミリメートルでもずれると、ホットスポットが発生してしまいます。PIDコントローラーをしっかりチェックし、冷却ファンが十分に強力であることを確認してください。
最後に、配線を石英管から離しておくことが重要です。触れてしまうと、配線が焼けてしまいます。間隔をしっかり取り、適切に遮蔽しておけば、毎回安定した、清潔な作業が可能になります。