機械の壁を加熱するのをやめましょう
半導体製造装置を扱ったことがある人なら、この問題を知っているでしょう。特定の部品を加熱しようとしても、突然、機械全体が非常に熱くなってしまいます。これは本当にイライラします。
問題は、ほとんどのヒーターがエネルギーを四方八方に放出してしまうことです。つまり、エネルギーが目的の部品ではなく、機械の壁に散逸してしまうのです。これはエネルギーの無駄遣いであり、安全上の問題もあります。
私たちは、指向性のある赤外線ランプを使用してこの問題を解決しています。
肝心なのは、焦点の設定です。
エネルギーを四方八方に放出させる代わりに、このランプはエネルギーを直接ワークピースに向けて送ります。まるでフラッドライトからスポットライトに切り替えるようなものです。発光角を制御できるため、機械の外壁は冷たいままです。もう「熱い壁」の問題もなく、作業員が火傷する心配もありません。
さらに、効果的に機能します。空気や金属フレームを加熱する必要がなくなるため、エネルギー代も削減できます。また、ウェーハや基板に直接エネルギーが届くため、起動時間も短縮されます。厚い断熱材や高価な冷却装置も不要になります。最初から熱が伝わらないようにすれば、わざわざ冷却にお金をかける必要はありません。
ただし、注意点もあります。
指向性加熱は「一度設定すれば何もしなくていい」というものではありません。トレードオフがあります。ビームが狭ければ狭いほど、正確な位置合わせが必要になります。もしランプの位置が数ミリでもずれてしまうと、ワークピースに熱点ができてしまいます。だからこそ、取り付けブラケットの選定には細心の注意が必要です。焦点を正確に保つ必要があります。
私のアドバイスは、定期的に位置合わせをチェックすることです。数分かかりますが、基板全体に均一に加熱されるようにする唯一の方法です。