何か問題が発生したときでも、ウェーハをきれいな状態に保つ方法 大量生産を行う工場では、赤外線ランプが故障するのは大きな問題です。単に停電するだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に散乱してしまいます。一度故障すれば、そのバッチ全体が無駄になってしまいます。 私たちは、そう...

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを使用しているのであれば、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや化学物質の蒸気があっても、そのロット全体が台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱素子が実際にはかなり汚れているというこ...

ファブフロアでは、ウェハーの乾燥およびフォトレジストのベークは任意の熱処理ステップではなく、回避できないプロセス制約である。対流炉は熱遅延やエッジからセンターへの温度勾配に対処するが、その結果として洗浄後の微小な液滴やソフトベーク後のCDシフトが発生する。これにより歩留まりの変動を追いかけることに...