クリーンルームが十分に温まるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。 半導体の高度な加工を行っている人なら、その「待ち時間」の苦しさをよく知っているでしょう。つまり、熱循環の中で何もせずに待っているという状況です。 ほとんどの装置では強制送風が使われていますが、これは非常に遅いプロセスです。空...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、加熱というのは単に適切な温度を維持するだけではありません。これは、微小な粒子との戦いでもあるのです。 一般的な加熱素子は、このような環境では役に立ちません。それらは目に見えないほど微細な粒子を放出し、ウェーハ...