ワークピースは、ソフトベイク、ハードベイク、そしてキュアリングといった工程を経由します。この過程でわずかなずれも許されません。フォトレジストを焼成する際に2°Cの温度差があると、ノード上に橋状の欠陥が生じてしまいます。また、乾燥時に温度が低すぎると、後に致命的な欠陥となる粒子が残ってしまいます。ここでは、信頼性というのは単なるスローガンではなく、1時間あたりに失われる歩留まりとして表れます。
技術的には、厳格な温度制御が重要です。私たちは、チャック全体で±0.1°Cの均一性を実現するヒーターを搭載し、信頼性の高い温度上昇プロファイルを設定します。また、負荷がかかっても設定値を維持できるようにしています。石英ハロゲンランプを使用することで、迅速かつ正確な温度制御が可能であり、ガス放出も最小限に抑えられます。さらに、ループ型センサーによって、表示される数値だけでなく、実際の温度も常に管理されます。
クリーンルームクラス1～100に適合するように、低粒子含有率の材料や密閉型の接続部、汚染物質がチャンバー内に入らないような排気システムが備わっています。私たちは「ゼロの粒子発生」とは主張しません。しかし、それを明確に定義し、測定し、プロセスモニターを使って確認します。
これがなぜ重要かというと、ウェーハの乾燥や洗浄の際に、ヒーターによって表面が熱ショックなしに乾燥されるため、欠陥が減少し、再作業が少なくなります。リソグラフィーの場合でも、フォトレジストの再現性が高く、CDの制御や側壁の形状が規格内に保たれます。パッケージングの場合も、熱的条件を超えることなく、適切なキュアリングと封止が行われます。
その結果、スクラップが減少し、SPCグラフも安定し、エネルギー消費もプロセスに応じて適切に管理されます。
注意すべき点もいくつかあります。ヒーターは標準的なOEMプラットフォームと連携しますが、チャックの平坦度や接触形状は規格に合致していなければなりません。設置は迅速に行えますが、レジストの層に応じて温度上昇速度やオーバーシュートを調整する必要があります。
高湿度の環境で使用する場合は、排気ポートでの結露対策に注意が必要です。すべてが適切に調整されれば、システムは24時間365日稼働し、ライトやセンサー、シール部品のメンテナンスも予測可能で、突然の停止は起こりません。