もう、故障したランプによってウェーハの歩留まりが低下することは許しましょう。 大量生産を行う半導体工場において、赤外線ランプが故障するのは本当に最悪の事態です。 その石英管が壊れると、熱の供給だけでなく、細かいガラスの破片や化学物質もウェーハに付着してしまいます。一度でも故障すれば、一括でシリコン...

スマート赤外線ヒーターの設計手法：邪魔にならない加熱ソリューションの構築 現場で頻繁に目にした課題を解決するために、このスマート電気ヒーターを開発しました。状況はよくあるケースです。必要な場所で、いますぐに暖かさが欲しい。しかし作業を中断して操作を行う余裕はない。 そこで、手間や操作なしで、必要な...