なぜ金メッキの反射板が重要なのか
シリコンウェーハを加熱する際、無駄になるエネルギーは、まさに無駄に消えてしまうお金と同じです。 一般的な反射板は、ある程度エネルギーを漏らしてしまいます。多くの熱が装置の筐体に流れ込んでしまい、それは無駄遣いになります。だからこそ、私たちは金を使用するのです。金は赤外線を効果的に反射する素晴らしい特性を持っています。そのため、熱が筐体に吸収される代わりに、直接ウェーハに戻されます。
金とアルミニウムの違い
市場にはアルミニウム製のものがたくさんあります。安価で手に入りやすいですが、赤外線の処理能力は金ほど優れていません。 私たちは、吸収を最小限に抑えるために、表面に薄い金の層を塗っています。目的は単純です。電球が発するエネルギーをすべてウェーハに送り届けることです。そうすれば、焦点がより明確になり、熱も均等に分散されます。基板が変形するような問題もなくなります。
熱流量の向上
私たちが作った電球は、高強度の作業に適しています。短波長の赤外線源と金メッキを組み合わせることで、より多くのエネルギーを短時間で対象物に与えることができます。 これにより、処理時間が大幅に短縮されます。本当に素晴らしいです。 しかし、注意点もあります。このような高密度のエネルギーは、冷却システムに大きな負担をかけます。もし冷却システムがそのような熱に対応できない場合、周囲の温度が急上昇します。これは注意が必要です。
機器の正常な動作の維持
私たちは、これらの部品を簡単に交換できるように設計しました。R7や他の特殊なコネクタを使っていても、そのまま交換できます。部品を交換するために、一整天を費やして全体の調整を行う必要はありません。 一つのアドバイス：金メッキの表面を常に清潔に保ちましょう。 指紋やほこりが付くと、放射パターンに「暗点」ができてしまいます。フラットな布と適切な溶剤を使って、表面をきれいに保ちましょう。もしコーティングが剥がれたり酸化したりすると、効率が低下します。その結果、電圧を上げて補う必要があり、それは電球を破損させる原因になります。