熱を失わずにファブを安全に保つ方法
半導体製造工場で化学洗浄処理を行っている方なら、その過酷さはご存知でしょう。周囲には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気があふれています。まさに危険な環境です。 通常の赤外線ランプでは、このような環境では使えません。わずかな火花や石英管のひび割れだけで大惨事につながります。私たちは、開放型の加熱方式を捨て、より安全な封入型の方式を採用しました。
保護機構の仕組み
単にランプにカバーをかけるだけではありません。 赤外線素子をサファイアや耐薬品性のある石英で作られた密封されたケースの中に収めます。そして、その全体を耐火性の高いハウジングで覆います。これはまるで要塞のようなものです。こうすることで、熱と周囲の空気との間にしっかりとした物理的な壁ができ、化学物質が漏れ出したり、蒸気が急増しても、加熱素子は安全な状態を保ちます。 また、配線が入る部分には高温度用のガスケットや防火シールを使用します。これにより、有害なガスが電気部品の中に入るのを防ぎます。
安全性と性能のバランス
このような保護装置を取り付けると、熱密度が下がってしまうのではないかと思うかもしれませんが、そうではありません。 依然として、必要な厳格な温度制御が可能です。ただし、ハウジング自体にも熱容量があるため、ランプが隠されているため、通常のランプよりも少し時間がかかります。PIDコントローラーを調整して、このわずかな遅れを補う必要があります。 ハウジング自体も耐久性に優れています。316Lステンレス鋼や特殊なフッ素樹脂コーティングを使用しているため、腐食や損傷が起こりにくいです。
注意すべき点
これらの装置は、単純に交換できるものではありません。標準的なランプよりも重く、スペースも多く必要です。封入型の装置に交換する前に、取り付けブラケットが十分に強いかを確認してください。そうでないと、余分な重さに耐えられない可能性があります。 また、電源にも注意が必要です。起動時には大きな電流が流れるため、スイッチを入れた瞬間にブレーカーが切れてしまうことがあります。