에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
왜 모든 웨이퍼 히터를 스트레스 테스트하는가?
반도체 분야에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 실리콘 제품군이 폐기될 수 있습니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 우리는 에너지 효율을 높이고 온도를 안정적으로 유지하기 위해 웨이퍼 히터를 설계하지만, 진짜 문제는...
공장 건조 공정의 에너지 감사
문제가 발생했을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
대량 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어져서 웨이퍼가 망가집니다. 한 번만 고장나도 전체 웨이퍼가 버려지게...
에너지 절약형 반도체 히팅
기계의 벽면을 가열하는 것을 그만두세요.
반도체 장비를 다룬 적이 있다면 아시다시피, 특정 부품만을 가열하려고 하지만, 오히려 기계 전체가 뜨거워집니다. 정말 짜증나는 일이죠.
문제는 대부분의 히터들이 에너지를 사방으로 방출한다는 점입니다. 즉, 목표물에 에너지가 도...