문제가 발생했을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
대량 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어져서 웨이퍼가 망가집니다. 한 번만 고장나도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 특별히 램프를 설계합니다.
열에 의한 고장 문제
대부분의 램프는 온도 변화를 견디지 못해 고장 납니다. 높은 부하가 가해지면 램프의 중심부는 과열되지만, 양쪽 끝부분은 여전히 차가운 상태입니다. 이러한 열应力 때문에 유리가 깨지는 것입니다.
이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이 재료는 저가형 석영보다 팽창이나 수축이 거의 없습니다. 또한, 램프의 벽 두께와 진공 밀폐 상태도 매우 중요합니다. 그래야 램프가 급격히 작동할 때 깨지는 것을 방지할 수 있습니다.
안전장치 추가
아무리 좋은 유리라도 문제는 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 웨이퍼를 얼마나 깨끗하게 유지해야 하는지에 따라 추가적인 보호 장치나 특수 코팅을 추가합니다.
이것은 일종의 안전망입니다. 램프가 고장나더라도 파편들이 밖으로 나오지 않습니다. 그렇게 되면 건조실 안에 석영 가루가 날아다니는 일도 없습니다. 또한, 장비에 너무 큰 부하가 가해질 때 발생하는 문제도 방지하기 위해 전극을 강화했습니다.
타협의 현실
솔직히 말해서, 빠른 건조를 원한다면 높은 와트수가 필요합니다. 하지만 그렇게 되면 석영이 극한의 스트레스를 받게 됩니다.
만약 몇 초라도 시간을 단축하기 위해 램프를 110%의 속도로 작동시킨다면, 그건 문제를 초래할 뿐입니다. 램프의 수명이 줄어들고 고장날 가능성도 높아집니다. 핵심은 냉각 공기의 흐름을 적절히 조절하는 것입니다. 양쪽 끝부분은 차갑게 유지하고, 중심부는 원하는 온도를 유지해야 합니다.
우리는 완벽한 실험실을 위해 이 램프를 만드는 것이 아니라, 실제 생산 현장을 위해 만듭니다. 24/7으로 작동하는 환경에서도 웨이퍼를 깨끗하게 유지할 수 있도록 만들어진 것입니다.