건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질의 증기만 있어도 전체 웨이퍼가 망가지고 맙니다.
문제는 대부분의 가열 요소들이 사실상 꽤 더러우다는 점입니다. 가열될 때 미세한 조각들이 떨어지거나 휘발성 유기화합물(VOCs)이 웨이퍼 위로 유출됩니다. 이는 재앙을 초래할 수 있습니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 그런 문제를 일으키지 않습니다.
왜 순수 석영을 사용하는가?
우리는 내구성이 뛰어난 융합 실리카를 사용합니다. 일반적인 유리나 저가형 석영은 열이 가해지면 쉽게 부서지거나 파손됩니다. 하지만 융합 실리카는 그렇지 않습니다.
더 좋은 점은, IR 광선이 웨이퍼 표면의 액체 층을 그대로 통과한다는 것입니다. 그래서 수분이 빠르게 증발하며, 웨이퍼 표면에 아무것도 닿지 않기 때문에 스크래치나 오염물 걱정할 필요가 없습니다.
적절한 열을 공급하는 방법
우리는 단파장 IR을 사용합니다. 이 방식으로는 웨이퍼 표면에 거의 즉시 열이 전달됩니다. 매우 빠릅니다. 만약 용매가 너무 오래 걸려 증발한다면, 웨이퍼에 물자국이 생길 수 있습니다.
우리는 와트수와 전압을 조절하여 웨이퍼 전체에 고르게 열이 전달되도록 합니다. 참고로, 속도를 높이기 위해 전력을 높이면 반드시 기판 홀더가 그 열을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다.
모든 요소를 최적화하기
우리는 설계를 간결하게 유지합니다. 먼지가 쌓일 수 있는 복잡한 구조는 피합니다. 연결 부분도 최소화하여 고장날 가능성을 줄입니다. 또한 특수한 밀폐 장치를 사용하여 전기 연결 부분에서 가열 구역으로 먼지가 들어가는 것을 막습니다.
마지막 팁: 이 램프들은 매우 뜨거워집니다. 그래서 램프의 끝부분을 위한 전용 냉각 시스템을 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 긴 생산 과정 동안 램프가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.