스마트 센서 포장 적외선
고장 난 램프로 인해 웨이퍼의 품질이 저하되는 것을 막으세요. 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 석영관 중 하나가 파손되면 열이 발생하지 않을 뿐만 아니라, 작은 유리 조각들과 화학물질들이 웨이퍼 위에 흩뿌려집니다....
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
왜 반도체 제조 공정에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가요?
반도체 처리 작업을 해본 사람이라면, 기다리는 시간이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다.
오랫동안 우리는 강제 공기 순환 방식에 의존해왔습니다. 즉, 뜨거운 공기를 주변으로 불어넣어 열을...
수소 센서 제작용 히터
깨끗하게 유지하기: 수소 센서를 위한 가열 방식
수소 센서를 제작할 때, 아주 작은 먼지 한 알도 문제가 됩니다. 그것은 단순한 번거로움이 아니라 센서의 고장을 초래할 수 있습니다. 클래스 100급 청정실에서 작업할 때는, 가열 요소에서 먼지나 가스가 발생하여 작업...
웨이퍼 공정용 온도 센서
웨이퍼 처리 장비 내에서 IR 램프를 안전하게 보관하는 방법
솔직히 말해서, IR 가열 램프를 웨이퍼 세척 장비에 넣는 것은 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 인화성이 있거나, 심지어 폭발성인 화학 약품들이 주변에 존재할 때, 아주 작은 스파크나 절연체의 손상만으로...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질의 증기만 있어도 전체 웨이퍼가 망가지고 맙니다.
문제는 대부분의 가열 요소...