웨이퍼 처리 장비 내에서 IR 램프를 안전하게 보관하는 방법
솔직히 말해서, IR 가열 램프를 웨이퍼 세척 장비에 넣는 것은 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 인화성이 있거나, 심지어 폭발성인 화학 약품들이 주변에 존재할 때, 아주 작은 스파크나 절연체의 손상만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
그래서 우리는 그냥 램프를 설치하는 것이 아니라, 밀폐된 구조로 그 램프를 감싸줍니다.
스파크 방지
일반적인 IR 램프는 화학 약품이 있는 환경에서 사용하기에 적합하지 않습니다. 이 문제를 해결하기 위해, 우리는 다층 밀폐 구조를 사용하여 전기 단자가 화학 약품과 접촉하지 않도록 합니다. 램프를 고순도 석영 소재로 만든 커버 안에 넣고, 화학 약품의 영향을 받지 않는 산업용 세라믹과 수지로 그 커버를 고정시킵니다. 이렇게 하면 부식성 가스가 배선을 손상시키거나 전류에 영향을 주는 것을 막을 수 있습니다.
진짜 중요한 것은 엔드캡입니다. 만약 이 밀폐 구조가 제대로 작동하지 않으면 문제가 생깁니다. 가스가 유입되어 램프가 고장 나거나, 불이 날 수도 있습니다. 우리는 그냥 추측하지 않고, 모든 밀폐 구조를 압력 테스트하여 웨이퍼 세척에 사용되는 강한 화학 약품들을 견딜 수 있는지 확인합니다.
열 전달의 타협점
문제는, 이러한 보호층과 두꺼운 석영 소재로 인해 열이 웨이퍼에 전달되는 속도가 느려진다는 것입니다. 아마도 램프가 직접 노출된 경우보다 가열 속도가 조금 느릴 것입니다. 이는 안전을 위한 대가입니다. 이를 극복하기 위해, 우리는 와트수를 조절하여 웨이퍼의 온도가 일정하게 유지되도록 합니다.
설치 시 주의사항
와이어링과 관련해서는 연결 지점에 특별히 주의해야 합니다. 고습도 환경에서는 산화가 문제가 될 수 있으므로, 금이나 니켈로 도금된 접점을 사용합니다. 이렇게 하면 연결부가 깨끗하게 유지되고, 아크 현상도 방지됩니다.
단자를 잘 확인하세요. 만약 단자에 변색이 보인다면 즉시 램프를 꺼내야 합니다. 그것은 밀폐 구조가 제대로 작동하지 않는다는 신호이며, 이는 결코 간과할 수 없는 위험입니다.
또한, 냉각 팬도 반드시 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 만약 냉각 팬이 제대로 작동하지 않으면, 밀폐용 수지가 시간이 지남에 따라 약해질 수 있고, 그러면 다시 처음으로 돌아가게 됩니다.