웨이퍼 공정용 온도 센서

웨이퍼 처리 장비 내에서 IR 램프를 안전하게 보관하는 방법 솔직히 말해서, IR 가열 램프를 웨이퍼 세척 장비에 넣는 것은 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 인화성이 있거나, 심지어 폭발성인 화학 약품들이 주변에 존재할 때, 아주 작은 스파크나 절연체의 손상만으로...