초순수수 가열 램프

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 15분 정도의 온도 변동만으로도 전체 생산량이 망가질 수 있습니다. 바로 이런 이유로 우리는 리소그래피 공정에 사용할 초고순도 물을 가열할 수 있는 특수 램프를 개발한 것입니다. 여기서는 열적 균일성과 가동 시간...