ASML 리소그래피 램프 부품
서론 현실을 직시해 봅시다. 만약 여러분이 포장 및 테스트 시설을 운영하고 있다면, 신뢰성이야말로 가장 중요하다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 생산 라인이 멈추는 순간마다 곧바로 비용 손실이 발생합니다.
ASML 리소그래피 라인은 안정적이고 예측 가능한 온도가 필요...
아익스트론 히터 소자 예비 부품
바닥에 위치한 Aixtron MOCVD 챔버의 경우, 에피택시 공정이 정상적으로 진행되도록 하려면 매우 정확한 온도 제어가 필요합니다. 히터 요소의 성능이 불안정해지면, 공정의 반복성도 저하됩니다. 설정된 온도가 변하고, 웨이퍼의 온도가 고르지 않아지며, 결함도 증가...