서론 현실을 직시해 봅시다. 만약 여러분이 포장 및 테스트 시설을 운영하고 있다면, 신뢰성이야말로 가장 중요하다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 생산 라인이 멈추는 순간마다 곧바로 비용 손실이 발생합니다. ASML 리소그래피 라인은 안정적이고 예측 가능한 온도가 필요...

리소그래피 공정에서는, 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 이는 “작은 편차”가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 문제입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 선의 폭을 조절하고, 잔류 용매의 양을 결정하는 데 사용됩니다. 히터의 성능이 저하되면 즉시...