오존이 없는 적외선 램프

반도체 가열 과정에서의 탄소 및 오존 발생 억제 클린룸에서 작업해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 극도로 정확한 온도 제어가 필요하지만, 사용하는 도구들 자체가 오히려 문제를 일으키곤 합니다. 일반적인 단파 적외선 램프는 200nm보다 짧은 파장의 빛을 방...