웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

적외선 웨이퍼 가열 시 적절한 거리 설정하기 반도체 공장의 탄소 발자국을 줄이고 싶다면, 더 이상 저항식 가열에만 의존해서는 안 됩니다. 단파 적외선(SWIR)이 그 해결책입니다. 하지만 문제는, 전체 시스템의 성능은 ‘안전 거리’에 달려 있다는 것입니다. 즉, 램프...