캐논 리소그래피 히터 전구

리소그래피 공정에서는, 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 이는 “작은 편차”가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미치는 문제입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 선의 폭을 조절하고, 잔류 용매의 양을 결정하는 데 사용됩니다. 히터의 성능이 저하되면 즉시...