왜 우리는 램프 튜브를 함부로 사용하지 않는가? 모든 램프 튜브는 반드시 모든 내전압 및 절연 저항 테스트를 통과해야만 출하됩니다. 단호합니다. 제조 환경에서는 아주 작은 전기 누설도 문제가 됩니다. 그저 퓨즈가 나가는 정도가 아니라, 웨이퍼 전체가 망가지거나, 집...

생산 현장에서의 포토레지스트 베이크는 편리함과 관련이 없습니다. 이것은 반복 가능한 패턴과 스크랩의 경계선입니다. 할로겐 또는 NIR 램프가 드리프트하면 소프트 베이크 균일성이 무너지고 CD 제어가 흔들립니다. 단순히 재작업을 고려하는 것이 아니라, 웨이퍼를 잃고,...