청소 후 웨이퍼용 적외선 히터

제조 현장에서는, 세척 과정을 거친 후에도 웨이퍼에 자국이 남아 있거나, 포토레지스트가 제대로 경화되지 않았거나, 캡슐화 처리가 고르게 이루어지지 않는 경우가 있습니다. 이런 상황에서는 단순히 가공 시간만 늘어나는 것이 아니라, 웨이퍼 자체가 손상될 수도 있습니다....