오존이 없는 적외선 램프
반도체 가열 과정에서의 탄소 및 오존 발생 억제
클린룸에서 작업해본 사람이라면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 극도로 정확한 온도 제어가 필요하지만, 사용하는 도구들 자체가 오히려 문제를 일으키곤 합니다.
일반적인 단파 적외선 램프는 200nm보다 짧은 파장의 빛을 방...
무연 납땜 와이퍼 예열기
라인에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 그 영향은 로트 보고서상의 수율 저하로 나타납니다.
웨이퍼 건조, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크, 포장 공정, 그리고 세척 공정 등 모든 공정은 엄격한 온도 제어가 필요합니다. 무연 납땜용...