팩용 최고 등급 RTP 램프

Role 공정 현장에서 7×24 운영은 드리프트를 용납하지 않는다. 램프가 한 번이라도 순간 이상을 보이면, 소프트 베이크 프로파일이 벗어나고 CD 균일성이 저하된다. 결국 해당 로트는 격리 조치된다. 이러한 위험을 없애기 위해 본 RTP 램프를 설계했다. 기술적으로...