아익스트론 히터 소자 예비 부품

바닥에 위치한 Aixtron MOCVD 챔버의 경우, 에피택시 공정이 정상적으로 진행되도록 하려면 매우 정확한 온도 제어가 필요합니다. 히터 요소의 성능이 불안정해지면, 공정의 반복성도 저하됩니다. 설정된 온도가 변하고, 웨이퍼의 온도가 고르지 않아지며, 결함도 증가...