공장 건조 공정의 에너지 감사

문제가 발생했을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어져서 웨이퍼가 망가집니다. 한 번만 고장나도 전체 웨이퍼가 버려지게...