MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질의 증기만 있어도 전체 웨이퍼가 망가지고 맙니다. 문제는 대부분의 가열 요소...