문제가 발생했을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단뿐만 아니라, 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어져서 웨이퍼가 망가집니다. 한 번만 고장나도 전체 웨이퍼가 버려지게...

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질의 증기만 있어도 전체 웨이퍼가 망가지고 맙니다. 문제는 대부분의 가열 요소...

제조 현장에서 웨이퍼 건조 및 포토레지스트 베이크는 선택적 열 공정이 아니라 회피할 수 없는 공정 제약 조건이다. 컨벡션 오븐은 열 지연과 가장자리에서 중심부로의 온도 구배를 극복하는 역할을 하며, 이는 세척 후 미세 액적 형성이나 소프트 베이크 후 CD 이동으로 나...