반도체 건조를 올바르게 수행하는 방법 (에너지 낭비 없이) 웨이퍼를 다룰 때는 수분을 제거해야 하며, 그 과정도 빠르게 이루어져야 합니다. 하지만 너무 강하게 처리하면 웨이퍼가 손상될 위험이 있습니다. 오랫동안 사람들은 기존의 대류식 건조 장비를 사용해왔지만, 우리는...

리소그래피 현장에서, 세척기에서 돌아온 젖은 FOUP는 눈으로 보기 전에 먼저 느껴지는 문제입니다. 잔여 수분은 소프트 베이크 드리프트, 라인 폭 변동, 그리고 스크랩을 유발합니다. 트랙에 도달하기 전에 FOUP가 완전히 건조해야 하며, 이 건조 상태는 반복 가능해야...