반도체 건조를 올바르게 수행하는 방법 (에너지 낭비 없이)
웨이퍼를 다룰 때는 수분을 제거해야 하며, 그 과정도 빠르게 이루어져야 합니다. 하지만 너무 강하게 처리하면 웨이퍼가 손상될 위험이 있습니다. 오랫동안 사람들은 기존의 대류식 건조 장비를 사용해왔지만, 우리는 이제 디지털 적외선 건조기를 사용하고 있습니다. 왜냐하면 기존 방식은 엄청난 양의 에너지를 낭비하고, 가열되는 데도 오랜 시간이 걸리기 때문입니다. 디지털 방식으로 전환하면 더 효율적이고 친환경적인 클린룸을 만들 수 있습니다.
디지털 방식의 작동 원리
일반적인 적외선 램프는 단순히 열을 방출할 뿐입니다. 웨이퍼가 이미 건조했는지, 아직 습한 상태인지는 신경 쓰지 않고 계속해서 에너지를 공급합니다. 우리는 실시간으로 상황을 파악할 수 있는 디지털 컨트롤러를 사용하여 이 문제를 해결했습니다. PWM이나 SCR 위상 각도 제어와 같은 기술을 활용하면 온도를 매우 정밀하게 조절할 수 있습니다. 더 이상 설정된 온도를 초과하여 웨이퍼가 손상될 걱정을 할 필요가 없습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고출력의 적외선 램프는 매우 빠르게 작동하기 때문에 많은 열이 발생합니다. 만약 캐비닛의 환기가 제대로 되지 않으면, 24시간 내내 작동하는 동안 전자 부품들이 손상될 수 있습니다. 팬을 꼭 사용하세요.
에너지와 지구를 절약하는 방법
공장에서 탄소 중립 목표를 달성하려면, 웨이퍼당 얼마나 많은 킬로와트시의 에너지가 소모되는지가 중요합니다. 디지털 컨트롤러는 “절전 모드”를 제공합니다. 도구가 그대로 있는 동안 램프를 계속 가동시키는 대신, 시스템은 최소한의 에너지만을 사용합니다. 이는 작은 변화일 수 있지만, 결국 큰 효과를 가져옵니다. 게다가 적외선 방식은 저항식 가열보다 훨씬 효율적입니다. 적외선은 표면으로 스며들어 웨이퍼를 안쪽부터 건조시킵니다. 모든 과정이 더 빠르게 진행됩니다. 주기가 짧아지면 도구가 전력을 덜 소비하게 됩니다. 이는 모두에게 이익이 되는 방법입니다.
실제 적용 방법
기존 생산 라인에 이러한 장비를 설치하는 것은 항상 쉬운 일이 아닙니다. 먼저 전기 시스템을 확인해야 합니다. 고출력 컨트롤러를 사용할 경우, 회로 차단기가 처음에 발생하는 큰 전류를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 또한, 차폐된 케이블을 사용하는 것이 좋습니다. 전자기 간섭으로 인해 측정 센서가 오작동하는 것을 방지할 수 있습니다. 웨이퍼가 문제가 있는 것처럼 보이는데 사실은 케이블의 전기적 잡음 때문일 수도 있습니다.