반도체 히터용 열전대

웨이퍼 플로어에서 온도 컨트롤러는 120.0°C를 표시한다. 웨이퍼는 포토레지스트 프로파일을 설정하는 소프트 베이크를 기다리며 핫플레이트 위에 놓여 있다. 그러나 컨트롤러 디스플레이는 단지 약속일 뿐이다. 히터가 실제로 웨이퍼 평면에서 전달하는 온도를 측정하는 열전대...