Pada garis pengeluaran sepanjang 300mm, perubahan suhu sebanyak 15 minit semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch yang dihasilkan. Itulah sebabnya kami menciptakan lampu pemanas air yang sangat bersih untuk digunakan di bilik litografi. Di sini, keseimbangan suhu dan masa operasi yang stabil sangat penting—ia menentukan kualiti produk yang dihasilkan.
Apa yang penting di baliknya
Lampu ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek (SWIR) yang terletak di dalam selubung kuarsa, untuk memanaskan air yang sangat bersih tepat pada titik penggunaannya. Kestabilan suhu dapat dijaga pada tahap ±0.1°C. Dengan cara ini, suhu pada permukaan wafer tetap stabil, sehingga proses pemanasan berjalan dengan lancar. Lampu ini sesuai digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Ia tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya, dan tidak ada pelepasan gas semasa beroperasi secara berterusan. Prestasi lampu ini konsisten, dengan penyimpangan kurang dari 5% selepas 5,000 jam operasi. Respons termalnya juga cepat, sehingga dapat mengikuti ritme proses pengeluaran yang tinggi tanpa masalah.
Apa manfaatnya bagi operasi pengeluaran
Jumlah kali perubahan suhu semasa proses pemanasan berkurangan. Kontrol dimensi kritis menjadi lebih baik. Profil bahan fotoresist tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Proses pengeluaran dapat berjalan 24/7 tanpa henti, tanpa perlu mengganti lampu secara tiba-tiba. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu hanya dipanaskan bila diperlukan, bukan sentiasa menyala. Kestabilan suhu yang tinggi membantu mengurangkan bahan buangan, dan kos pengeluaran per wafer pun berkurangan.
Apa yang perlu diperhatikan
Proses pemasangan lampu memerlukan penyesuaian agar lampu tersebut sesuai dengan antaramuka termal di sistem pengeluaran. Selain itu, kekonduksian air dan stabiliti aliran air juga perlu diperiksa. Perubahan kecil dalam komposisi kimia boleh mengganggu ketepatan pengukuran suhu. Lakukan ujian singkat untuk menyetel nilai PID agar sesuai dengan geometri bilik pemanasan yang digunakan. Setelah itu, proses pengeluaran dapat berjalan secara konsisten.