Waarom we hete lucht vervangen door infraroodverwarming in semiconductiefabrieken
Als je ooit hebt gewerkt in een productielijn voor geavanceerde chips, weet je hoe frustrerend het kan zijn om te moeten wachten.
Bij het gebruik van hete lucht moet je eerst de lucht opwarmen, voordat deze de chip kan verwarmen. Dit proces is langzaam. Elke keer dat je de temperatuur wilt verhogen, ontstaat er een vertraging. In een fabriek met hoge productiecapaciteit betekent dit dat er veel geld verloren gaat.
Dit is waar infraroodverwarming komt om de hoek kijken. Infraroodstraling bereikt rechtstreeks het te bewerken materiaal. Het proces gaat bijna meteen. In plaats van te wachten tot de oven een constante temperatuur heeft bereikt, bereiken de lampen de gewenste temperatuur al na enkele seconden.
Het is snel. Heel snel. Dat betekent dat je meer producten per uur kunt produceren, zonder dat je extra moeite moet doen.
Maar je kunt niet zomaar een lamp in een doos stoppen en denken dat het werkt. Om dit in een schone ruimte te kunnen gebruiken, maken we maatwerk behuizingen van roestvrij staal. Deze behuizingen zijn speciaal ontworpen om de infraroodstraling terug te sturen naar het te bewerken materiaal. Op die manier wordt er geen energie verspild aan het opwarmen van andere delen van de behuizing. We gebruiken hoogwaardig roestvrij staal, omdat dit niet uitslaat of gas afgeeft wanneer het heet wordt – precies wat je nodig hebt wanneer de omgeving schoon moet blijven.
Er is echter één nadeel: infraroodverwarming zorgt voor een hoge warmtetegenslag. Als het te bewerken materiaal een vreemde vorm heeft, kunnen er plekken zijn waar de temperatuur te hoog wordt. Je kunt niet zomaar een ventilator vervangen door een lamp en hopen op het beste resultaat. Je moet de vermogenssterkte en de afstand goed instellen, zodat de oppervlakterecentrale temperatuur constant blijft. Bovendien moet je thermokoppels hebben in het controle systeem, zodat je de gewenste temperatuur niet overschrijdt.
Het goede nieuws? We maken deze behuizingen zodat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je kunt je oude convectiezones vervangen zonder dat je hele productielijn hoeft te verwijderen. Het is een veel eenvoudiger manier om de productieversnelling te bereiken.