Je Class 100-reine ruimte daadwerkelijk schoon houden
Als je een Class 100-omgeving beheert, ken je het probleem al. Eén piepklein stofdeeltje of een beetje gas en al je wafers zijn verloren.
De echte oorzaak? De verwarmings-elementen. De meeste zijn niet geschikt voor dit doel. Ze beginnen microdeeltjes af te geven of gaan kapot door de hitte, en plotseling is je “reine” ruimte niet meer zo zuiver.
Wij hebben een manier gevonden om dat te voorkomen. We combineren hoogzuivere kwarts-IR-lampen met gespecialiseerde Teflon-verkabeling. Simpel, maar effectief.
Het geheim zit in het kwarts
We gebruiken geen standaardglas. We maken gebruik van synthetisch, hoogzuiver kwarts voor de lampomhulsels. Waarom? Omdat dit voorkomt dat metalen ionen je productieruimte binnendringen.
Bovendien is het zeer bestand. Je kunt de temperatuur snel op en neer laten schakelen zonder dat de buisjes breken. Bovendien geven ze kortegolf-infraroodstraling af die rechtstreeks op het substraat terechtkomt. Je hoeft niet te wachten tot alles ‘in de hitte is getrokken’. Het gaat snel.
Omgaan met de “onzichtbare” factoren
Dan is er nog de verkabeling. De meeste mensen gebruiken PVC of silicone, maar dat is een nachtmerrie in de buurt van hittebronnen. Het smelt en er komen vluchtige organische verbindingen vrij. Kortom: er worden polymeren rechtstreeks op je wafers afgegeven.
Daarom gebruiken we PTFE (Teflon). Het blijft chemisch stabiel, zelfs bij hoge temperaturen. Geen uitstoot, geen vervuiling.
Omdat we deze lampen ontwerpen als vervanging voor je huidige verwarmingsblokken, hoef je het hele systeem niet opnieuw te ontwerpen om ze te kunnen installeren.
Nog enkele tips
Deze IR-lampen leveren veel warmte op. Die snelle opwarming is fijn, maar kan te veel zijn als je niet voorzichtig bent.
Als de afstand tot het doelwit maar een paar millimeter afwijkt, ontstaan er hete punten. Het is een dunne grens. Controleer dus goed je PID-controller en zorg ervoor dat je koelfans sterk genoeg zijn om te voorkomen dat de Teflon-laag te heet wordt.
Een laatste tip: houd de bedrading uit de buurt van de kwartsbuis. Als ze in contact komen, brandt de draad door. Punt uit.
Zorg gewoon voor de juiste afstanden en goede bescherming, dan heb je elke keer een stabiele en schone productieomgeving.