Op de productielijn kan een chip die na het reinigen nog watervlekken heeft, een laag fotoresistentie die niet op de juiste manier is verhit, of een laag die ongelijkmatig is opgedroogd, niet alleen de productietijd verlengen, maar ook de kwaliteit van de chips schaden. Daarom moet de infrarode verwarming voorspelbaar zijn: er moet een nauwkeurige temperatuurregeling zijn, zonder dat er particules worden gegenereerd of dat de chips te veel thermische stress ondervinden.
Wat technisch belangrijk is
We hebben de infrarode verwarming ontworpen met behulp van kortegolf-infraroodlicht en een kwartsgebaseerd thermisch systeem. Hierdoor wordt er een uniformiteit van ±0,1°C bereikt op het niveau van de chips. Dit zorgt ervoor dat de fotoresistentie op de juiste manier kan worden verhit. De temperatuur blijft stabiel, zodat er geen problemen ontstaan bij het verhitten van de chips.
Het gesloten circulatiesysteem zorgt er ook voor dat de temperatuur stabiel blijft, zelfs wanneer er snel wordt verhoogd. Het apparaat past in schone ruimtes van klasse 1–100. De emissoren en andere onderdelen zijn zo ontworpen dat er nauwelijks particules worden gegenereerd.
Waarom dit werkt in de productie
Eén apparaat kan meerdere stappen uitvoeren: het drogen van de chips na het reinigen, het verhitten van de fotoresistentie tijdens de lithografieprocesen, en het opdrogen van de chips aan het eind van het proces. Hierdoor wordt de productieefficiëntie verbeterd, omdat de temperatuur snel op het gewenste niveau komt. Bovendien leidt een constante temperatuur tot minder defecten in de producten.
De energieverbruik neemt ook af, omdat het infraroodlicht efficiënt is en de thermische massa laag blijft. De betrouwbaarheid van het apparaat is hoog: het werkt 24/7 met weinig afwijkingen. Hierdoor zijn er geen onverwachte stilstandsperioden en is er minder nodig aan reserveonderdelen.
Wat je moet plannen
Voor de installatie moet je rekening houden met de afmetingen van het apparaat, de aansluitingen voor gas en afvoer, en de interface met de PLC. Plan ook voor een korte testperiode om de instellingen van het apparaat af te stemmen op de behoeften van je producten.
Het apparaat presteert het beste op standaardgrote chips en vlakke pakketten. Als je gebruikmaakt van gebogen of niet-standaard onderdelen, heb je waarschijnlijk een speciaal ontworpen apparaat nodig om de gewenste uniformiteit te bereiken.