Na stanowisku litograficznym procesy delikatnego i intensywnego suszenia fotorezystu to nie tylko kroki związane z przygotowaniem materiału do procesu. One decydują o wymaganych parametrach jakościowych produktu końcowego. Nawet niewielka zmiana temperatury o 0,3°C może sprawić, że szerokość linii na płytkach przekroczy dopuszczalne wartości, co skutkuje całkowitą utratą produktu. Stworzyliśmy specjalną lampę do suszenia fotorezystu w układzie DUV, aby uniknąć takich problemów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Lampa wykorzystuje ciepło w zakresie bliskiego podczerwieni do tworzenia równomiernego pola termicznego – z dokładnością ±0,1°C na całej powierzchni płytki. Dzięki temu uzyskuje się wysoką powtarzalność wyników w różnych partiach produktu, ponieważ moc lampy jest sterowana automatycznie, a nie szacowana na podstawie informacji z termoparu znajdującego się w odległym miejscu. To oznacza, że temperatura suszenia fotorezystu pozostaje stabilna, niezależnie od tego, czy pracujemy z małą ilością próbek, czy z dużymi partiami produktu.
Kompatybilność z warunkami panującymi w pomieszczeniach czystych
Konstrukcja lampy zapewnia kompatybilność z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy 1–100. Wykorzystuje materiały o niskiej emisji gazów oraz strefę gorącą kontrolowaną pod względem liczby cząstek, co zapobiega zanieczyszczeniom płytek.
Dlaczego lampa sprawdza się w rzeczywistych warunkach produkcyjnych
W fabryce działającej 24/7 przestoje są nieakceptowalne. Ta lampa pozwala na pracę bez przerw, nie pogarszając przy tym efektywności produkcji. Szybka reakcja termiczna skraca czas suszenia i zmniejsza zużycie energii.
Dzięki temu można przetwarzać większą liczbę płytek dziennie, zmniejszyć liczbę koniecznych korekt oraz zapewnić stabilną pracę procesu litograficznego – co oznacza mniej strat produktu. Brak powstawania cząstek podczas suszenia chroni jakość produktu, szczególnie na najdelikatniejszych etapach produkcji, gdzie jeden błąd może doprowadzić do zniszczenia urządzenia.
Co należy wiedzieć przed instalacją
Instalacja jest prosta, ale lampa wymaga dedykowanego źródła zasilania i systemu chłodzenia dostosowanego do jej zapotrzebowania energetycznego. Lampa można łatwo zintegrować z istniejącymi urządzeniami, ale należy wcześniej zaplanować rozmieszczenie oraz dostawy mediów – w przeciwnym razie może dojść do opóźnień w procesie produkcji.
Najpierw należy zadbać o właściwe ustawienia mediów. Dopiero potem można oczekiwać, że parametry suszenia będą stałe już przy pierwszej partii produktu.