Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você trabalha em um ambiente de classe 100, certamente já sabe dos problemas que isso pode causar. Um simples grão de poeira ou um pouco de gás pode estragar todo o lote de wafers produzidos.
O verdadeiro problema são os elementos de aquecimento. A maioria deles não foi projetada para esse tipo de uso. Eles começam a liberar micropartículas ou se deterioram sob alta temperatura. Assim, sua “sala limpa” deixa de ser realmente limpa.
Descobrimos uma maneira de evitar isso. Usamos lâmpadas de infravermelho feitas de quartzo de alta pureza, combinadas com fios especiais de Teflon. É simples, mas funciona bem.
O segredo está no quartzo
Não usamos vidro comum. Utilizamos quartzo sintético de alta pureza para fazer as coberturas das lâmpadas. Por quê? Porque ele impede que íons metálicos cheguem à área de produção. Além disso, o quartzo é resistente. Você pode alterar rapidamente a temperatura, e esses tubos não vão rachar. Além disso, eles emitem radiação infravermelha de onda curta, que atinge diretamente o substrato. Não é preciso esperar que o calor “penetre” no material. É rápido.
Lidando com os elementos “invisíveis”
Há também o problema dos fios. A maioria das pessoas usa PVC ou silicone, mas esses materiais são um desastre perto de fontes de calor. Eles derretem e liberam compostos orgânicos voláteis. Basicamente, eles liberam polímeros diretamente nos wafers.
É por isso que usamos PTFE (Teflon). Esse material permanece quimicamente estável mesmo quando está quente. Não há liberação de gases nem contaminação.
E como esses componentes podem substituir diretamente os blocos de aquecimento existentes, você não precisa reprojeter toda a estrutura para fazer a atualização.
Algumas coisas a observar
Essas lâmpadas de infravermelho são muito potentes. O calor instantâneo é bom, mas pode ser excessivo se você não tiver cuidado. Se a distância entre a lâmpada e o alvo for pequena demais, haverá pontos quentes. É preciso verificar cuidadosamente os controladores PID e garantir que os ventiladores de resfriamento sejam eficientes o suficiente para evitar que os tubos de Teflon superaqueçam.
Uma dica final: mantenha os fios longe dos tubos de quartzo. Se eles entrarem em contato, o fio vai queimar. Simples assim.
Basta manter a distância correta e usar proteções adequadas, e você terá um processo estável e limpo em todas as vezes.