บนพื้นผิวของเครื่อง Aixtron MOCVD นั้น จำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำมาก เพื่อให้กระบวนการสร้างชั้นวัสดุใหม่เป็นไปตามมาตรฐาน หากองค์ประกอบที่ใช้ในการสร้างความร้อนมีความไม่แม่นยำ ก็จะส่งผลให้ความสามารถในการทำซ้ำการผลิตลดลง อุณหภูมิของแผ่นวัสดุก็จะไม่สม่ำเสมอ และจำนวนข้อบกพร่องก็จะเพิ่มขึ้น ดังนั้นจึงไม่สามารถรอให้มีการซ่อมแซมได้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราผลิตองค์ประกอบที่ใช้ในการสร้างความร้อนของ Aixtron โดยออกแบบมาให้เหมาะสมกับลักษณะการทำงานของเครื่อง โดยมีการออกแบบรูปทรงให้เหมาะสมกับบริเวณที่ใช้ในการสร้างความร้อน และเลือกวัสดุที่มีความสามารถในการตอบสนองต่อความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีค่าความต้านทานที่คงที่ตลอดเวลา ด้วยวิธีนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิของแผ่นวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต ทำให้คุณภาพของวัสดุที่ได้มีความสม่ำเสมอในทุกชุดผลิตภัณฑ์
องค์ประกอบเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้ใช้ได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ดังนั้นจำนวนอนุภาคจึงยังคงอยู่ในระดับที่คงที่ตลอดช่วงการเปลี่ยนชุดอุปกรณ์ องค์ประกอบเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้ใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง และมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี ในกระบวนการลิโทกราฟีและขั้นตอนที่เกี่ยวข้องกับอุณหภูมินั้น ความแม่นยำของอุณหภูมิมีความสำคัญมาก เพราะมันเป็นสิ่งที่ช่วยควบคุมความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้น และช่วยลดข้อบกพร่องต่างๆ การใช้องค์ประกอบที่เหมาะสมจะช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่เหมาะสม ทำให้คุณสามารถควบคุมกระบวนการผลิตได้โดยไม่ต้องเริ่มต้นใหม่
เวลาที่หยุดการผลิตจะลดลง ประสิทธิภาพการผลิตจะยังคงอยู่ในระดับที่ดี และการใช้พลังงานก็จะอยู่ในระดับที่เหมาะสม เพราะองค์ประกอบเหล่านี้สามารถสร้างความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และมีค่าความต้านทานที่คงที่ ดังนั้นความสามารถในการทำซ้ำการผลิตก็จะกลับมาอีกครั้ง และจำนวนวัสดุที่เสียหายก็จะลดลง
รายละเอียดที่ช่วยให้คุณไม่เจอปัญหา การติดตั้งองค์ประกอบเหล่านี้จำเป็นต้องมีความระมัดระวังเรื่อง ESD และต้องใช้แรงบิดที่เหมาะสมในการติดตั้ง หากไม่ทำเช่นนั้น ก็จะเกิดช่องว่างขนาดเล็กขึ้น ซึ่งจะส่งผลให้อุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ ควรตรวจสอบประเภทของตัวเชื่อมต่อ แรงดันไฟฟ้า และขนาดต่างๆ ให้ตรงกับรุ่นของเครื่อง เพราะหากมีความไม่สอดคล้องกัน ก็จะส่งผลให้การควบคุมอุณหภูมิล้มเหลว
ควรมีการเปลี่ยนองค์ประกอบเหล่านี้ในช่วงเวลาที่กำหนดไว้ เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างกะทันหัน และเพื่อปกป้องชั้นโลหะที่ใช้ในเครื่องด้วย