
ในโรงงานผลิตชิป หากวัตถุดิบที่ออกมาจากกระบวนการทำความสะอาดมีรอยขีดข่วน หรือชั้นฟอโตเรซิสต์ไม่ได้รับการอบแห้งอย่างถูกต้อง หรือวัสดุที่ใช้หุ้มชิปไม่ได้แข็งตัวอย่างสม่ำเสมอ ก็จะส่งผลให้เกิดปัญหาในกระบวนการผลิต นั่นคือทำให้เวลาการผลิตเพิ่มขึ้น และยังส่งผลเสียต่อวัตถุดิบอีกด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ โดยไม่มีการเพิ่มอนุภาคใดๆ เข้ามา หรือทำให้วัตถุดิบเสียหายจากแรงดันความร้อน
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดหลังการทำความสะอาดโดยใช้คลื่นความยาวสั้น พร้อมกับการออกแบบโครงสร้างที่ใช้ความร้อนจากควอตซ์ เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C อุณหภูมิที่คงที่นี้ช่วยให้สามารถทำกระบวนการอบฟอโตเรซิสต์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ
การควบคุมแบบปิดวงจรช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ แม้ในขณะที่มีการเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วก็ตาม อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และอุปกรณ์ต่างๆ ก็ถูกออกแบบมาให้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ เลย
เหตุผลที่อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับการผลิต เครื่องทำความร้อนเครื่องเดียวสามารถทำหน้าที่ได้หลายอย่าง เช่น การอบวัตถุดิบหลังการทำความสะอาด การอบฟอโตเรซิสต์ และการอบวัสดุที่ใช้หุ้มชิป สิ่งนี้ช่วยให้มีประสิทธิภาพในการผลิตมากขึ้น เพราะสามารถถึงอุณหภูมิที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว และยังช่วยให้ได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสูงขึ้น เพราะอุณหภูมิที่สม่ำเสมอช่วยลดข้อบกพร่องในการผลิต
นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะการใช้คลื่นความยาวสั้นช่วยให้มีประสิทธิภาพสูง และอุณหภูมิก็อยู่ในระดับต่ำ ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นี้ก็สูงมาก เพราะสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีความคลาดเคลื่อนน้อยมาก ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด และไม่จำเป็นต้องมีสำรองชิ้นส่วนมากมาย
สิ่งที่ควรพิจารณาเมื่อติดตั้ง การติดตั้งอุปกรณ์นี้ต้องคำนึงถึงขนาดของอุปกรณ์ รวมถึงการเชื่อมต่อระบบก๊าซและระบบระบายอากาศ และต้องมั่นใจว่าสายเชื่อมต่อ PLC สามารถทำงานได้อย่างถูกต้อง ควรมีการทดลองใช้งานเพื่อปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้
อุปกรณ์นี้มีประสิทธิภาพสูงสุดเมื่อใช้กับวัตถุดิบที่มีขนาดมาตรฐาน หากใช้กับวัสดุที่มีรูปร่างผิดปกติ ก็จำเป็นต้องมีอุปกรณ์เสริมเพื่อให้อุณหภูมิสม่ำเสมอ