วิธีรักษาความสะอาดของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ให้ปลอดจากฝุ่นระหว่างกระบวนการทำให้แห้ง
หากคุณใช้ห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันน่ากังวลแค่ไหน: เพียงฝุ่นเล็กๆ เพียงจุดเดียว หรือไอเคมีที่หลุดออกมา ก็อาจทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์ทั้งชุดเสียหายได้
ปัญหาก็คือ องค์ประกอบที่ใช้สำหรับการให้ความร้อนนั้นมักจะสกปรกอยู่แล้ว เมื่อองค์ประกอบเหล่านี้ร้อนขึ้น ก็มักจะมีเศษสารต่างๆ หลุดออกมา หรือมีสารอินทรีย์ระเหยได้ง่ายหลุดออกมาด้วย ซึ่งเป็นสาเหตุให้เกิดความเสียหายได้
นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์ เพราะหลอดไฟประเภทนี้ไม่ก่อให้เกิดปัญหาดังกล่าว
ทำไมเราถึงเลือกใช้ควอตซ์บริสุทธิ์
เราเลือกใช้ควอตซ์บริสุทธิ์เพราะมันมีความทนทานสูง ส่วนแก้วธรรมดาหรือควอตซ์ราคาถูกมักจะแตกหักเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น แต่ควอตซ์บริสุทธิ์ไม่เป็นเช่นนั้น
สิ่งที่ดีที่สุดก็คือ รังสีอินฟราเรดสามารถผ่านชั้นของของเหลวบนแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้โดยตรง ทำให้น้ำระเหยได้อย่างรวดเร็ว และเนื่องจากไม่มีสิ่งใดมาสัมผัสกับแผ่นเซมิคอนดักเตอร์โดยตรง คุณจึงไม่ต้องกังวลเรื่องรอยขีดข่วนหรือสิ่งสกปรกบนพื้นผิวอีกต่อไป
การปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม
เราเลือกใช้รังสีอินฟราเรดคลื่นสั้น เพราะรังสีนี้จะส่งผลต่อพื้นผิวของแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างรวดเร็ว
การทำให้แผ่นเซมิคอนดักเตอร์แห้งอย่างรวดเร็วนั้นมีความสำคัญมาก เพราะหากสารละลายใช้เวลานานเกินไปในการระเหย ก็จะเกิดจุดน้ำขึ้นบนแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ได้
เราใช้เวลามากมายในการปรับค่าแรงดันไฟฟ้าและกำลังไฟฟ้า เพื่อให้อุณหภูมิกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอทั่วแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ ข้อควรระวังคือ หากคุณเพิ่มกำลังไฟฟ้าเพื่อเร่งกระบวนการ ต้องแน่ใจว่าอุปกรณ์ที่ใช้ยึดแผ่นเซมิคอนดักเตอร์สามารถทนต่อความร้อนได้ มิฉะนั้นแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ก็อาจเสียหายได้
การออกแบบให้เหมาะสม
เราออกแบบอุปกรณ์ให้มีขนาดเล็กที่สุด เพื่อไม่ให้มีสิ่งที่อาจเป็นแหล่งสะสมฝุ่นได้ นอกจากนี้ เรายังใช้วิธีการปิดผนึกที่เหมาะสม เพื่อไม่ให้มีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกเข้ามาในบริเวณที่ใช้ให้ความร้อนได้
ข้อควรระวังอีกอย่างคือ หลอดไฟเหล่านี้มีความร้อนสูงมาก เราจึงแนะนำให้มีระบบระบายความร้อนสำหรับปลายหลอดไฟด้วย เพื่อป้องกันไม่ให้ปลายหลอดไฟเสียหายระหว่างการผลิต