Wafer temizleme cihazlarında IR lambalarını güvende tutmak
Dürüst olalım: IR ısıtma lambalarını wafer temizleme cihazlarının içine koymak, adeta ateşle oynamak gibidir. Etrafınız yanıcı veya daha da kötüsü patlayıcı kimyasal buharlarla çevriliyken, küçük bir kıvılcım bile durumu tam bir felakete dönüştürebilir.
İşte bu yüzden bu lambaları sadece “monte etmiyoruz”; onları hermetik bir şekilde kaplıyoruz.
Kıvılcımın önlenmesi
Standart IR lambaları, kimyasal ortamların getirdiği zorluklara uygun değildir. Bunu düzeltmek için, elektrik terminallerini ortamdan tamamen ayıran çok katmanlı bir mühürleme işlemi kullanıyoruz. Lambayı yüksek saflıkta kuvars bir kılıfa yerleştiriyor ve ardından kimyasalların ne kadar agresif olduğunun önemi olmayan endüstriyel seramikler ve reçinelerle sabitliyoruz. Böylece kimyasal buharların kabloları zarar vermesi veya canlı akımla temas etmesi engellenmiş olur.
Gerçek çözüm ise uç kapaklarda yatıyor. Eğer bu mühürler bozulursa, sorun yaşarsınız; buharlar içeri sızar, lamba çalışmayı bırakır veya her şey alev alabilir. Bu konuda tahminde bulunmuyoruz; her bir mühürü, wafer temizlemede kullanılan zorlu kimyasallara karşı dayanıklı olup olmadığını test ediyoruz.
Isı ile ilgili denge
Burada bir sorun var: Tüm bu koruyucu katmanlar ve kalın kuvars tabakaları, ısının waferlere ulaşma hızını yavaşlatır. Muhtemelen lambanın ısınma süresinin, lambanın doğrudan dışarıda kaldığı durumlara kıyasla biraz daha yavaş olduğunu fark edeceksiniz. Bu, güvenlik adına yapılan bir ödündür. İşin düzgün çalışması için güç seviyesini ayarlayarak, lambanın ortamı eritmemesini sağlıyoruz.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Kablolama konusunda ise tüm dikkati bağlantı noktalarına vermek gerekir. Yüksek nemli temizleme ortamlarında oksidasyon büyük bir sorundur; bu yüzden altın veya nikel kaplamalı temas noktaları kullanıyoruz. Bu sayede bağlantılar temiz kalır ve ark oluşumu engellenir.
Terminallere dikkat edin! Eğer herhangi bir renk değişikliği görürseniz, lambayı hemen çıkarın. Bu, mühürlerin bozulduğunun bir işaretidir ve bu riski göze alamayız. Ayrıca soğutma fanlarını da kontrol edin. Eğer doğru şekilde ayarlanmamışlarsa, zamanla bu reçineler yumuşayabilir ve her şey yine başa döner.