Припиніть марнувати час на очікування, поки кімната для обробки не нагріється.
Якщо ви займаєтесь глибокою обробкою напівпровідників, ви напевно знаєте, як це дратує – коли доводиться постійно чекати. Ви точно розумієте, що я маю на увазі: цей неприємний проміжок часу в термічному циклі, коли просто треба чекати.
У більшості пристроїв використовується циркуляція повітря. Це повільний процес: спочатку нагрівається повітря, потім воно нагріває камеру, і лише після цього пластини починають нагріватися. Це ланцюгова реакція, яка витрачає час.
Швидкий спосіб? Інфрачервоне випромінювання.
Інфрачервоні нагрівачі не потребують посередника. Замість того, щоб обробляти повітря, вони напряму передають електромагнітне випромінювання на об’єкт нагріву.
Це неймовірне відчуття – коли не потрібно чекати, поки повітря нагріється; температура досягає бажаного рівня за кілька секунд. Це дозволяє скоротити час обробки та обробляти більшу кількість замовлень.
Крім того, не можна забувати про проблему пилу. Циркуляція повітря створює пил та частинки. Навіть за наявності найкращих фільтрів, рух повітря все одно є проблемою для пластин з кремнію. Інфрачервоні нагрівачі не мають рухомих частин, тож немає турбулентності. Можна прибрати складні конструкції для регулювання потоку повітря та звільнити місце на підлозі.
Але це не чарівна паличка. Є кілька аспектів, на які потрібно звернути увагу.
Інфрачервоне випромінювання має напрямленість. Якщо ви працюєте з складними 3D-формами, не можна просто „налаштувати все та забути“. Треба уважно планувати кути розташування відбивачів та ламп, щоб тепло розподілялося рівномірно.
Крім того, оскільки інфрачервоне випромінювання діє дуже швидко, система керування також мусить бути достатньо швидкою. Якщо система керування занадто повільна, температура може перевищити бажаний рівень, перш ніж ви це помітите. Потрібні швидкі датчики та контролери, які зможуть реагувати так само швидко, як і саме тепло.
Це вимагає більше уваги на початковому етапі, але швидкість, яку можна досягти, вартує цього.