
Чому саме вакуумні інфрачервоні нагрівачі є оптимальним рішенням для виробництва чипів без свинцю
Сфера напівпровідників активно розвивається у напрямку „зелених“ та безсвинцевих стандартів. Довгий час ми використовували звичайні конвекційні печі. Але проблема полягає у тому, що нагрівання великої кількості повітря є марною тратою енергії. Крім того, це сприяє появі пилу та частинок у повітрі, які можуть пошкодити поверхню чипів.
Саме тому ми перейшли на вакуумні інфрачервоні нагрівачі. Це значно ефективніше.
Як насправді функціонує процес нагрівання
У вакуумі немає повітря. Без повітря не може бути конвекції. Неможливо просто нагріти поверхню чипа за допомогою гарячого повітря, якщо немає повітря для його руху.
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне випромінювання – адже йому не потрібен середовище для поширення. Воно проходить прямо через вакуум та потрапляє безпосередньо на поверхню чипа.
Це ефективно. Не йде втрата енергії на нагрівання стінок камери чи порожнього простору навколо чипа. Енергія використовується лише для нагрівання самого чипа. Саме тому цей метод ставPreferred для тих, хто хоче скоротити витрати на енергію у чистих приміщеннях.
Як досягти правильної температури
Клеми та клеї без свинцю дуже вимогливі до температури. Якщо температура буде занадто високою, це може пошкодити кремній чи створити небажані порожнини на поверхні чипа.
Наші вакуумні інфрачервоні лампи дозволяють швидко підвищувати чи знижувати температуру. Це дає можливість контролювати процес загартовування чипа, що неможливо зробити за допомогою звичайних печей. Оскільки енергія поширюється у вигляді випромінювання, процес загартовування може відбутися за кілька секунд, а не годин. Це значно полегшує роботу та скорочує витрати на енергію.
Кілька порад щодо використання
Не можна просто помістити будь-яку лампу у вакуум. Потрібні матеріали, які не будуть виділяти гази. Ми використовуємо кварц високої чистоти та спеціальні філатри – адже якщо матеріали будуть виділяти гази, це може зіпсувати вакуумну герметизацію та забруднити поверхню чипа.
Ще одна порада щодо обладнання: ці лампи дуже гарячі. Особливо на місцях кріплення. Не економте на системах охолодження. Якщо система охолодження не буде ефективною, це може пошкодити герметизацію камери. Це дуже потужне джерело тепла, тож обов’язково переконайтеся, що ваша система охолодження здатна впоратися з цим тиском. Не економте на її проектуванні.