
خشک کرنے کے دوران اپنے MEMS ویفروں کو صاف رکھنا
اگر آپ کلاس 100 کے صاف کمرے میں کام کرتے ہیں، تو آپ کو یقیناً اس مشکل کا علم ہوگا: ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ یا کوئی کیمیائی بخار، اور پوری بیچ کی مصنوعات بیکار ہو جاتی ہے۔
مسئلہ یہ ہے کہ زیادہ تر حرارت پیدا کرنے والے آلات دراصل بہت گندے ہوتے ہیں۔ جب یہ گرم ہوتے ہیں، تو ان سے باریک ذرات نکلتے ہیں، یا قابلِ بخار کیمیائی مرکبات بھی خارج ہوتے ہیں؛ یہ ایک بڑا مسئلہ ہے۔
اسی لیے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ ایسے لیمپوں سے ایسی مشکلات پیش نہیں آتیں۔
ہم کیوں خالص کوارٹز استعمال کرتے ہیں؟
ہم فیوژڈ سیلیکا کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ بہت مضبوط ہے۔ عام شیشہ یا سستا کوارٹز گرم ہونے پر ٹوٹ جاتا ہے، لیکن فیوژڈ سیلیکا ایسا نہیں کرتا۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ IR شعاعیں براہِ راست ویفر کی سطح سے گزر جاتی ہیں، جس سے نمی تیزی سے خشک ہو جاتی ہے۔ چوںکہ کوئی چیز ویفر کو چھوتی ہی نہیں، اس لیے آپ کو خراشوں یا سطحی گندگی کی فکر کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
مناسب حرارت حاصل کرنا
ہم مختصر ترین تردد والے IR شعاعوں کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ شعاعیں فوراً ہی ویفر کی سطح پر پہنچ جاتی ہیں۔
یہ عمل بہت تیز ہے۔ اگر حل کو خشک ہونے میں زیادہ وقت لگے، تو ویفر پر پانی کے داغ پڑ جاتے ہیں۔
ہم واٹج اور وولٹیج کو ایسے ہی ترتیب دیتے ہیں کہ پورے ویفر پر یکساں حرارت پڑے۔ ایک بات یاد رکھیں: اگر آپ حرارت کو تیز کرنے کے لیے طاقت کو بڑھاتے ہیں، تو یقین کریں کہ آپ کا سبسٹریٹ ہولڈر اس حرارت کو برداشت کر سکتا ہے۔ ورنہ ویفر خراب ہو سکتا ہے۔
تمام چیزوں کو منظم کرنا
ہم ڈیزائن کو سادہ رکھتے ہیں؛ کوئی بھاری ڈھانچہ استعمال نہیں کیا جاتا، کیوں کہ ایسے ڈھانچے گرد جمانے کا سبب بنتے ہیں۔
کنکشن بھی کم ہیں، جس سے خراب ہونے والی چیزیں بھی کم ہوتی ہیں۔ ہم خصوصی سیلز کا بھی استعمال کرتے ہیں، تاکہ برقی سرے سے کوئی ذرہ حرارتی زون میں نہ جائے۔
آخری مشورہ: یہ لیمپ بہت گرم ہوتے ہیں۔ ہم لیمپوں کے سرے کے لیے الگ کولنگ سسٹم کی سفارش کرتے ہیں؛ اس سے لیمپوں کے سرے جلنے سے بچ جاتے ہیں۔