Ngăn chặn cơn ác mộng về tình trạng nhiễm bẩn các wafer
Hãy thành thật mà nói: Khi bóng đèn IR bị hỏng trong quá trình sản xuất với công suất cao, đó thực sự là một thảm họa. Không chỉ gây ra thiệt hại về thời gian sản xuất, mà còn gây ra tình trạng lộn xộn khủng khiếp. Những mảnh thủy tinh và sợi wolfram rơi trực tiếp xuống các wafer. Ngay lập tức, toàn bộ sản phẩm sẽ bị hỏng, và bạn phải tiến hành việc làm sạch toàn bộ buồng sản xuất. Đó là một tình huống phiền toái mà không ai muốn gặp phải.
Không chỉ là những tấm phản chiếu thông thường
Đó là lý do tại sao chúng tôi không coi các tấm phản chiếu bằng nhôm như những thiết bị đơn giản chỉ có chức năng phản chiếu ánh sáng. Dù chúng có chức năng phản chiếu bức xạ hồng ngoại trở lại wafer để giúp quá trình sản xuất diễn ra hiệu quả hơn, nhưng chúng cũng là lớp phòng thủ đầu tiên chống lại các tác động xấu từ bóng đèn.
Chúng tôi sử dụng nhôm có độ tinh khiết cao, được xử lý bề mặt một cách kỹ lưỡng. Tại sao ư? Bởi vì điều cuối cùng mà chúng ta muốn là tấm phản chiếu bị trầy xước hoặc giải phóng khí trong quá trình làm nóng và làm nguội.
Chúng tôi cũng chú ý đến kích thước của các chi tiết. Bằng cách thu hẹp khoảng cách giữa bóng đèn và tấm phản chiếu, chúng tôi có thể giữ cho các mảnh vụn không thể bay ra ngoài. Nếu bóng đèn bị hỏng, các mảnh vụn sẽ không thể thoát ra ngoài.
Cân bằng giữa công suất và an toàn
Việc sử dụng bóng đèn với công suất tối đa rất tốt cho việc sản xuất, nhưng điều này cũng dẫn đến nguy cơ bị sốc nhiệt. Để tránh tình trạng một bóng đèn hỏng khiến toàn bộ sản phẩm bị hỏng, chúng tôi sử dụng lớp bảo vệ.
Hãy coi đó như một “lưới an toàn”. Chúng tôi đặt một ống bảo vệ bằng thạch anh hoặc sapphire giữa bóng đèn và wafer. Nếu bóng đèn bị hỏng, ống bảo vệ sẽ giữ lại các mảnh vụn.
Tấm phản chiếu bằng nhôm giúp giữ cho toàn bộ hệ thống hoạt động ổn định, giúp bóng đèn luôn ở vị trí trung tâm. Điều này giúp tránh tình trạng phân bố nhiệt không đồng đều, vốn là nguyên nhân khiến bóng đèn bị hỏng sớm.
Những điều cần lưu ý
Điểm bất lợi là việc sử dụng các ống bảo vệ và tấm phản chiếu chắc chắn sẽ làm tăng trọng lượng của hệ thống sưởi. Do đó, thời gian khởi động hệ thống sẽ chậm hơn so với việc sử dụng bóng đèn thông thường. Đó là một cái giá nhỏ để tránh tình trạng wafer bị nhiễm bẩn.
Lưu ý rằng bạn cần điều chỉnh các bộ điều khiển PID để bù đắp cho trọng lượng bổ sung này. Một khi đã điều chỉnh xong, nhiệt độ của hệ thống sẽ duy trì ở mức cần thiết.