Giảm lượng khí carbon và ozone trong quá trình gia nhiệt bán dẫn
Nếu bạn từng làm việc trong phòng sạch, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn mà người ta phải đối mặt. Bạn cần độ chính xác cao về mặt nhiệt độ, nhưng các công cụ được sử dụng lại thường gây ra nhiều vấn đề.
Các bóng đèn hồng ngoại thông thường có xu hướng phát ra các bước sóng dưới 200nm. Vấn đề nằm ở chỗ những bước sóng này tương tác với oxy, tạo ra ozone. Trong môi trường vô trùng, ozone thực sự là kẻ gây hại; nó phá hủy các thiết bị và khiến hệ thống thông gió phải hoạt động liên tục để làm sạch không khí.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này. Chúng tôi sử dụng ống thạch anh không chứa ozone.
Cơ chế hoạt động
Đó là nguyên lý vật lý khá đơn giản. Chúng tôi sử dụng thạch anh được xử lý đặc biệt hoặc các lớp phủ đặc biệt để ngăn chặn bước sóng vô tuyến cực tím. Bằng cách loại bỏ những bước sóng này, chúng ta có thể ngăn chặn sự hình thành ozone ngay từ đầu.
Điểm tốt nhất là bạn không cần phải sử dụng những hệ thống lọc ozone cồng kềnh và tiêu tốn nhiều năng lượng nữa. Chi phí năng lượng của bạn sẽ giảm, và tuổi thọ của các thiết bị cũng được kéo dài.
Giành chiến thắng trong cuộc cạnh tranh “Nhà máy xanh”
Việc đạt được trạng thái trung hòa carbon không chỉ liên quan đến nguồn năng lượng mà bạn sử dụng, mà còn liên quan đến cách bạn sử dụng nó.
Các lò gia nhiệt truyền thống giống như việc sưởi cả ngôi nhà chỉ để giữ ấm một cốc cà phê – bạn phải sưởi toàn bộ không gian bên trong lò. Ngược lại, công nghệ hồng ngoại hoạt động theo nguyên lý truyền nhiệt trực tiếp: ánh sáng hồng ngoại chiếu trực tiếp vào wafer hoặc vật liệu cần gia nhiệt, mà không ảnh hưởng đến các bộ phận khác.
Điểm tuyệt vời nhất là thời gian chuẩn bị của lò hồng ngoại rất nhanh. Bạn không cần phải tiêu tốn nhiều năng lượng để duy trì nhiệt độ trong lò trong lúc thay đổi công cụ. Điều này giúp tiết kiệm năng lượng và giảm chi phí sử dụng điện.
Những điều cần lưu ý
Dù đây là giải pháp tuyệt vời, nhưng vẫn có vài điều cần lưu ý. Khi loại bỏ bước sóng vô tuyến cực tím, phổ ánh sáng sẽ thay đổi một chút. Tùy vào loại vật liệu mà bạn sử dụng, tốc độ hấp thụ năng lượng có thể thay đổi. Bạn cần kiểm tra lại thời gian cần thiết để nhiệt độ đạt mức mong muốn.
Ngoài ra, nếu bạn sử dụng các bóng đèn có công suất cao, hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Những bóng đèn này rất nhạy cảm với dao động điện áp. Nếu chất lượng điện kém, filament của bóng đèn sẽ bị hỏng nhanh chóng.
Bí quyết là phải điều chỉnh trở kháng của bóng đèn sao cho phù hợp với bộ điều khiển. Làm như vậy, hệ thống của bạn sẽ hoạt động ổn định trong thời gian dài.