なぜ、すべてのウェーハヒーターに対してストレステストを行うのか？ 半導体の世界では、わずかな電気漏れがあっただけで、一括して生産されたシリコンが廃棄されてしまいます。これは最悪の事態です。私たちは、エネルギー効率の高いウェーハヒーターを製造し、温度をしっかりと制御しようとしますが、実際の問題は熱そのものではなく、絶縁性能です。
HiPotテストの真実 私たちは「サンプル検査」は行いません。10個中1個だけをテストして良い結果を期待するようなことはしません。 私たちが製造するすべてのヒーターは、工場を出る前に、完全な耐電圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。全部です。 その理由は、ヒーターは最も敏感な基板のすぐ隣にあるからです。セラミックに微細な亀裂があったり、封止剤に小さな欠陥があったりすると、電流がチャassis内に漏れ込みます。そうなると、温度が急激に変動し始めます。さらに悪いことに、回路が破壊されてコントローラーが故障してしまうこともあります。 工場で絶縁性能を極限まで厳しくテストすることで、不良品がお客様の機械に届く前に発見できるのです。
高密度熱処理のバランス取り より高いエネルギー効率を得るためには、狭い空間内でより多くのパワーを投入する必要があります。私たちは高純度のセラミックや特殊な合金を使用して、熱を正確にウェーハがある位置に集中させます。 しかし、ここに問題があります。 熱密度が高くなると、絶縁体にかかる負荷も増えます。ヒーターの温度が室温から数百度に上昇すると、材料が膨張したり収縮したりします。これは常に続く機械的なストレスです。時間が経つにつれて、そのストレスによって電流が漏れる通路ができてしまいます。私たちの誘電体テストは、絶縁体がそのような過酷な状況に耐えられるかどうかを確認するためのものです。
設置時のポイント これらのヒーターがシステムに組み込まれた後は、残りは配線次第です。 クリーンなグランドが必要です。私たちのテストを行っても、機器レベルでの不適切なグランド設定により、私たちが構築した内部の安全装置が無効になってしまう可能性があります。また、ケーブルもしっかりとチェックしてください。端子部分で絶縁体が溶けてしまわないように、使用温度に適したケーブルを使用してください。