省エネ型ウェーハヒーター

なぜ、すべてのウェーハヒーターに対してストレステストを行うのか？ 半導体の世界では、わずかな電気漏れがあっただけで、一括して生産されたシリコンが廃棄されてしまいます。これは最悪の事態です。私たちは、エネルギー効率の高いウェーハヒーターを製造し、温度をしっかりと制御しようとしますが、実際の問題は熱そ...